XYZ:台面尺寸： 125x125mm行程：50mm ;最小步进可以抵达10nm以内 50nm光栅尺反响，

最大速率:：20mm/s 重复精度： +/-0.01um 高端伺滑台，交织滚柱导轨

θXθYθZ：θXθY角度移动量:±2.5? 最小千分尺刻度: 23"/小格，

迅速度：0.0008度θZ角度移动量:±4? 最小千分尺刻度: 42"/小格，迅速度：0.0015度

交织滚柱导轨，三轴旋转中心设计在光纤端面，降低耦合难度，提高耦合效率

兼容种种夹具：水平光纤，笔直光纤，水平光纤阵列，笔直光纤阵列，lens夹具（真空吸附或者气动夹持）等